Microscope électronique à balayage (MEB)

La microscopie électronique à balayage (MEB) est une technique capable de produire des images et des analyses élémentaires en haute résolution de la surface d’un échantillon. Le MEB disponible à l’IMPMC est un Zeiss ULTRA55, doté d’une source électronique type FEG-Schottky : canon à émission de champ (cathode chaude) et équipé de la colonne électronique Ultra Haute Résolution Gemini®, boostée pour l’amélioration des performances à basse tension, permettant l’analyse d’échantillons à l’échelle nanométrique. Pour plus de détails techniques, veuillez consulter la fiche suivante.

Caratéristiques

Energie

    •    Tension variable en continu de 100 V à 30 kV

Résolution

    •    1,1 nm à 20 kV et 2,5 nm à 1 kV

Courant de sonde

    •    4 pA à 20 nA

Détecteurs

    •    Détecteur de type Everhart Thornley pour l’imagerie en électrons secondaires : SE2
Détecteur 4 quadrants pour l’imagerie en électrons rétrodiffusés haute tension : AsB
    •    Détecteur annulaire haute performance pour la détection des électrons secondaires basse tension : In-Lens (dans la colonne)
    •    Détecteur annulaire avec grille filtrante en énergie pour la détection des électrons rétrodiffusés basse tension : EsB (dans la colonne)
    •    Détecteur d’électrons transmis imagerie BF/DF sur échantillons minces : STEM (rétractable)
    •    Microanalyseur EDS Bruker QUANTAX Résolution 123eV sur Mn pour l’analyse élémentaire X avec logiciel Esprit, Hypermap (cartographie X, profils, pointés), HSQuant analyse avec témoins (analyse X quantitative et semi-quantitative) mosaïques.